国内首家针对超高精度、镜面高反光及透明材质的纳米级测量仪。实现300nm Z向绝对精度、30nm Z向重复精度，扫描帧率70kHz，最大直径80mm，可适用于测量强反射、弱反射及透明物体等多种物体，分光模块与光学振镜模块分离设计，加入光学振镜扫描可替代昂贵的高精密位移台，可广泛应用于半导体晶片、透明材质、微机电系统、精密加工表面、材料研究等领域

应用领域:3C电子、电子组装、电气工程（重点领域）,半导体,机器人、自动化,医疗,汽车